Satoshi さん、
そのエラー(Warning)は直接は関係ないだろうと思います。
ハードディスクの空きがないということはないでしょうから、スクリプトがおかしいのでしょうということくらいしか思い浮かびませんが。。。
webディレクトリ外のディレクトリにファイルを書き出すcgiスクリプト(perl)があるのですが、オープンとクローズ、ファイルの作成は出来ても、内容を書き出すことが出来ません。0バイトのファイルができてしまいます。
環境はWinXPProで、書き出し先の権限設定はCREATOR OWNER以外は全部フルアクセスです。
errors.logの内容は Warning: CGI TerminateProcess XXXX error 5 となります。
なにかおわかりになることはありますでしょうか。